産品簡介

高溫(wēn)PI烤箱 PBO膠(jiāo)固化烘箱适用於BCB、PI、PBO膠固化，半導體晶圓，光刻膠固化，光刻膠預烘/堅膜、CPI固化潔淨無氧等要求，在生物、醫藥、LCD、LED、光學鍍膜、電子元器件等行業内的無氧化幹燥烘烤工藝要求，産品也可接受非标定制。

高溫(wēn)PI烤箱   PBO膠(jiāo)固化烘箱 産品适用於适用於BCB、PI、PBO膠固化，半導體晶圓，光刻膠固化，光刻膠預烘/堅膜、CPI固化潔淨無氧等要求，在生物、醫藥、LCD、LED、光學鍍膜、電子元器件等行業内的無氧化幹燥烘烤工藝要求，産品也可接受非标定制。

高溫(wēn)PI烤箱   PBO膠(jiāo)固化烘箱

型号：GM-60D

工作室尺寸：W600*H600*D600

外形尺寸：W1190* H1730*D1100  

功率 9KW

含氧量<=20PPM

溫度範(fàn)圍(wéi): +60~+450℃ ;

溫(wēn)度均勻(yún)度:± 2.5℃ at2oo℃ ; ± 5℃ at35o°C;(空載)

升溫速度:常溫~400℃ ,升溫速率>6°C/min  PLC一體(tǐ)可設(shè)定

溫(wēn)控精度:± 1℃ ;

烘箱擱闆爲活動形式。

在60- 120°C 之間(jiān)連(lián)續烘烤80-1000 小時;

運行噪音:≤ 65db;

以上指标均在常壓、空載條件情況下,距箱體内壁1/6 空間(jiān)内測(cè)試;

高溫(wēn)PI烤箱   PBO膠(jiāo)固化烘箱産品特點：

結構方式

整體結構採(cǎi)用單門立式結構，控制櫃位於(yú)箱體上方，外殼採(cǎi)用304鏡面或者304不鏽鋼拉絲，工作室採(cǎi)用SUS304潔淨不鏽鋼闆滿焊、耐高溫密封處理，内部光亮整潔，自身潔淨不産塵。

1.外壁材料：1.5mm厚度SUS304鏡(jìng)面潔淨不鏽鋼(gāng)闆。

2.内壁材料：2.0mm厚度SUS304鏡(jìng)面潔淨不鏽鋼(gāng)闆。

3.絕(jué)熱材料：100mm厚度120K高密度矽(guī)酸鋁纖維保溫材料。

結構(gòu)強度：箱底闆承重能力：≤80Kg（均勻負(fù)載）

1．單(dān)開門結構(gòu)，門框鑲嵌耐高溫矽橡膠密封條，拉杆式安全防爆拉手。

2. 門(mén)框安裝水冷循環(huán)，降低門(mén)封圈溫度。

3．配置電(diàn)磁鎖，防止意外開(kāi)啓箱門。

加熱控制器：不鏽鋼加熱管（鎳鉻合金電熱絲，改性氧化鎂填充，無縫不鏽鋼管覆套）。加熱器控制方式：無觸(chù)點等周期脈沖(chōng)調寬，SSR（固态繼電器）

溫度控制器：採(cǎi)用PLC+威綸通10英寸觸(chù)摸屏控制系統，多段可程式PLC一體控制，恒溫，升溫等多段設定控制。

氧含量控制器：氧分析儀精準控制，外接99.999%純度氮氣，氧含量達到＜ 20PPM 以下。

水冷系統：採(cǎi)用水冷控制系統降溫門縫(fèng)圈，常水溫在20-25℃。

降溫系統：採(cǎi)用降溫冷卻風(fēng)機，使用箱體降溫循環冷卻。

氣體系統：氮氣流量計,入氣口8mm接口，出氣口100mm,自動(dòng)啓閉(bì)風閥。

排風系統：不鏽鋼排風管，帶(dài)自動(dòng)風閥，有機排氣口，冷卻排風口。

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