産品簡介

HMDS真空烤箱HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參(cān)數可以在矽片、基片表面均勻塗布一層HMDS，降低瞭(le)HMDS處理後的矽片接觸角，降低瞭(le)光刻膠的用量，提高光刻膠與矽片的黏附性。

HMDS真空烤箱  藥水烘箱産品性能特點：

1）設備外殼採(cǎi)用醫用級不鏽鋼316L不鏽鋼材質制作，内膽爲不鏽鋼316L材料制成；採(cǎi)用C型不鏽鋼加熱管,均勻分布在内膽外壁，内膽内無任何電氣配件及易燃易爆裝置；採(cǎi)用鋼化、雙層玻璃觀察窗,便於(yú)觀察工作室内物品實驗情況。

2）箱門閉(bì)合松緊能調節，整體成型的矽橡膠門封圈，確(què)保箱内保持高真空度。

3） 採(cǎi)用微電腦PID控制,系統具有自動控溫,定時,超溫報(bào)警等,採(cǎi)用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩定，智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。

5）HMDS氣體密閉(bì)式自動吸取添加設計，使真空箱密封性能好，確(què)保HMDS氣體無外漏顧慮。

6）整個系統採(cǎi)用優質醫用級316L不鏽鋼材料制作，無發塵(chén)材料，适用百級光刻間淨化環境。

HMDS真空烤箱  藥水烘箱的原理：

HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參(cān)數可以在矽片、基片表面均勻塗布一層HMDS，降低瞭(le)HMDS處理後的矽片接觸角，降低瞭(le)光刻膠的用量，提高光刻膠與矽片的黏附性。

HMDS系列預處(chù)理系統(tǒng)的一般工作流程：

首先確(què)定烘箱工作溫度。典型的預處理程序爲：打開真空泵抽真空，待腔内真牢度達到某一高真空度後，開始充入氮氣，充到某低真空度後，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數後，開始保持一段時間，使矽片充分受熱，減少矽片表面的水分。然後再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間後，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使矽片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間後，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與矽片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除矽片表面的水分，然後HMDS與表面的OH一反應，在矽片表而生成矽醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變(biàn)成非極性表面。整個反應持續到空間位阻（*基矽烷基較大）阻止其進一步反應。