産品簡介

PBO固化高溫(wēn)無(wú)氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 産品适用於：适用於BCB、PI、PBO膠固化，半導體晶圓，光刻膠固化，光刻膠預烘/堅膜、CPI固化潔淨無氧等要求，在生物、醫藥、LCD、LED、光學鍍膜、電子元器件等行業内的無氧化幹燥烘烤工藝要求，産品也可接受非标定制。

PBO固化高溫(wēn)無(wú)氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 主要技術參數：

PBO固化高溫(wēn)無(wú)氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 結構特點：

總體由箱體部分，電(diàn)氣控制櫃部分，電(diàn)加熱部分，風道部分，塵(chén)埃物過濾部分，N2 進氣排氣部分等組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，功能實用。

外箱材料:外箱採用SS41#中碳鋼闆經磷酸皮膜鹽處理後兩層(céng)防光面塗裝烤漆可防止微塵(chén)，

内膽材料：内箱採用進口SUS304#1.2mm不鏽鋼闆全周氩焊,並(bìng)經堿性蘇打水清潔有效的防止瞭(le)機台本身灰塵的産生。

保溫材料：採(cǎi)用正廠(chǎng)中央玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫闆填充，有效的防止瞭(le)熱能浪費(fèi)。

電(diàn)熱部分：採(cǎi)用進口覆套式電(diàn)熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發生器

風道部分：整體結構採(cǎi)用瞭(le)水平送風的方式由左向右送風後經美國進口H.E.P.A，(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100；

排氣及進氣：排氣口採(cǎi)用自動風門設計以達(dá)到強烈的循環效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量，入氣口10mm氧含量可達到100PPM以下

四，可靠*的測控系統

溫(wēn)度控制裝置：日本進(jìn)口富士PXF系列溫控器，内置PID自動整定，斜率設定功能

溫度控制方式爲SSR固态繼電(diàn)器功率調整輸出，溫度採(cǎi)集探頭爲特制铠裝K型熱電偶

五，完善的控制系統(tǒng)，及安全防護(hù)措施

操作控制系統(tǒng)，日本進(jìn)口富士PXF系列溫(wēn)控器，程式化操作更可靠，更高效。

含氧量分析系統，採用國産氧含量分析儀，可實時監控箱體内的氧含量。啓動時間大約15分鍾。

防護措施：超溫保護,斷線報(bào)警，相序保護，過載保護，短路保護，漏電(diàn)保護，及電(diàn)磁門禁保護等。

六,設備使用條件：

環境條件:溫度5~40℃之間：濕度≤85%R.H：

電   源：3P AC380V，50HZ

使用環境：無強烈振動(dòng)，無強烈磁場(chǎng)影響，無腐蝕性氣體：

氣   壓：200~500Kpa：

安裝使用環(huán)境：箱體(tǐ)周圍應留有500mm的空間(jiān)供産(chǎn)品安裝，維修使用。

七,配備的技術資料：

提供産(chǎn)品合格證、保修卡、使用說明書、儀表說明書等相關資料壹套，客戶可根據需要選擇書面文件或索取電子文檔(dàng)